Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) auf Silicium und Werkzeugstahl mit der ionengestützten Abscheidung aus der Gasphase (IBAD)
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Beschreibung
Autor*in
Jens E Döring
Stimmen zu »Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) auf Silicium und Werkzeugstahl mit der ionengestützten Abscheidung aus der Gasphase (IBAD)«
Details
ISBN: 9783826599125
Verlag: Shaker
Erscheinung: 2002