Ulrich Bothe Bothe Abscheidung harter, wasserstoffreier Kohlenstoffschichten durch Magnetron-Sputtern

Abscheidung harter, wasserstoffreier Kohlenstoffschichten durch Magnetron-Sputtern

von Ulrich Bothe

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Beschreibung

Autor*in

Ulrich Bothe

Stimmen zu »Abscheidung harter, wasserstoffreier Kohlenstoffschichten durch Magnetron-Sputtern«

Details

ISBN: 9783826586620

Verlag: Shaker

Erscheinung: 2001

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