Thorsten Reier Reier Spinodale Entmischung bei Ionenimplantation von Al/AlN/Al203-Schichten

Spinodale Entmischung bei Ionenimplantation von Al/AlN/Al203-Schichten

von Thorsten Reier

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Beschreibung

Autor*in

Thorsten Reier

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Details

ISBN: 9783826571565

Verlag: Shaker

Erscheinung: 2000

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