Thomas Klotzbücher Klotzbücher Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

von Thomas Klotzbücher

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Beschreibung

Autor*in

Thomas Klotzbücher

Stimmen zu »Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren«

Details

ISBN: 9783826563713

Verlag: Shaker

Erscheinung: 1999

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