Alexander Gölz Gölz Anwendung der Remote PECVD-Technologie zur gezielten Verringerung von Defekten in Oxiden auf Siliziumkarbid

Anwendung der Remote PECVD-Technologie zur gezielten Verringerung von Defekten in Oxiden auf Siliziumkarbid

von Alexander Gölz

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Beschreibung

Autor*in

Alexander Gölz

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Details

ISBN: 9783826527944

Verlag: Shaker

Erscheinung: 1997

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