Diethelm Fröse Fröse Herstellung und Analyse vergrabener Nitrid-Schichten in Si/SiO₂/SIMOX-Systemen mittels Ionenstrahlmethoden

Herstellung und Analyse vergrabener Nitrid-Schichten in Si/SiO₂/SIMOX-Systemen mittels Ionenstrahlmethoden

von Diethelm Fröse

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Beschreibung

Autor*in

Diethelm Fröse

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Details

ISBN: 9783825825331
Verlag: LIT
Erscheinung: 1995

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