EMC 2004

EMC 2004

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20th European Mask Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components - Lectures held at the GMM-Conference January 12-14, 2004 in Dresden, Germany

EUR 139,00

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Beschreibung

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Themen in »EMC 2004«

Mask Technology Mask Metrology Optical Proximity Correction Resolution Enhanced Technique Lithography Technique Mask Error Enhancement Factor Manufacturing procedure

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Details

ISBN: 9783800728114
Verlag: VDE VERLAG
Erscheinung: 06.01.2004

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