Montage hybrider Mikrosysteme
Handhabungs- und Fügetechniken für die Klein- und Mittelserienfertigung
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Beschreibung
Das Buch beschreibt die Technologien rund um die Montage hybrider Mikrosysteme. Nicht der Entwurf oder das Mikrosystem als solches stehen im Vordergrund, sondern die Fertigungstechnologien zu ihrer Beherrschung. Neben den reinen Fügeverfahren werden die Handhabung sowie die Prozessüberwachung und -steuerung, die Sensorentwicklung und -integration und die zu verwendenden Werkstoffe behandelt. Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es dient dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme.
Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es soll dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme dienen.
In kompakter Form werden der Stand der Technik und neue Technologien für die Herstellung hybrider Mikrosysteme vorgestellt Includes supplementary material: sn.pub/extras
Autor*in
Ulrich Dilthey
Themen in »Montage hybrider Mikrosysteme«
Fertigung Fertigungsverfahren Fügeverfahren Handel Handhabung Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Prozessüberwachung Steuerung Systeme Technologie Verfahren Werkstoff Werkstoffe Werkzeug