CVD of Nonmetals
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Beschreibung
Dieses Handbuch behandelt alle Aspekte der CVD von Nichtmetallen, vom Reaktoraufbau und der Wahl eines geeigneten Precursors bis zur Anwendung der Filme. Physikalische Grundlagen und Reaktoraufbau werden im ersten Kapitel auch für Nichtexperten anschaulich beschrieben. Im folgenden werden die chemischen Strukturen der Vorläufer sowie Reaktionskontrolle für verschiedene Materialien, darunter Isolatoren, Halbleiter, Supraleiter, Verbundwerkstoffe und Strukturmaterialien diskutiert. Grenzen und Möglichkeiten sowie die Rentabilität der Methode werden jeweils von führenden Experten kritisch behandelt.
Dieses umfassende Nachschlagewerk, das über 1400 Literaturstellen und einem Glossar enthält, ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Anwendung von ultradünnen Schichten befassen, unentbehrlich.
Autor*in
William S. Rees Jr.
Themen in »CVD of Nonmetals«
Anorganische Chemie Ceramics Chemie Chemistry Dünne Schichten, Oberflächen u. Grenzflächen Electrical & Electronics Engineering Electronic Materials Elektronische Materialien Elektrotechnik u. Elektronik Festkörperchemie Halbleiter Inorganic Chemistry Keramische Werkstoffe Keramischer Werkstoff Materials Science