CVD of Compound Semiconductors
Precursor Synthesis, Development and Applications
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Beschreibung
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.
Unter anderem werden behandelt:
* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern
* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE
* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE
* Einkomponentenvorstufen
* CBE-Technik
* ALE-Technik
Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.
Autor*in
Anthony C. Jones
Themen in »CVD of Compound Semiconductors«
Anorganische Chemie Chemie Chemistry Coordination Chemistry Electrical & Electronics Engineering Elektrotechnik u. Elektronik Festkörperchemie Halbleiter Inorganic Chemistry Koordinationschemie Oberflächenbehandlung Physical Organic Chemistry Physikalische Organische Chemie Semiconductors Solid State Chemistry