Halbleiter-Technologie
Eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen
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Beschreibung
Autor*in
Heinz Beneking
Themen in »Halbleiter-Technologie«
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Details
ISBN: 9783519061335
Verlag: Vieweg & Teubner
Erscheinung: 21.01.1991