Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry
A User's Guide
Buch in deiner Nähe kaufen
Beschreibung
Mit Hilfe der Ellipsometrie mißt man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)
Autor*in
Harland G. Tompkins
Themen in »Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry«
Dünne Schicht Ellipsometrie Maschinenbau Mech Engineering Special Topics Mechanical Engineering Optische Eigenschaft Reflektometrie Spezialthemen Maschinenbau